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石英舟的清洗和飽和處理方法

2021-08-04 16:25:59

石英舟是什么?相信大家通過我們的產品介紹,已對此有所了解。對,石英舟又名石英玻璃,是一種二氧化硅高含量的耐酸材料。它獨特的物理屬性,決定了它的清洗和飽和處理方法的不同。下面我們就來為大家介紹一下石英舟的清洗和飽和處理方法。

1、石英舟的清洗:將石英舟放入濃度為10%~25%的氫氟酸進行浸泡40min~120min后,放入噴淋槽用純水噴淋,噴淋時間為20min~90min;

2、清洗后的干燥:用氣體干燥劑(比如氮氣)吹干石英舟;

3、石英舟的飽和:將石英舟放入爐溫為800℃~900℃的管式擴散爐中,通入氧氣和流量為1000~3000ml/min三氯氧磷液態源,其中氧氣和三氯氧磷液態源的流量比為1:1~5;

4、Z后用10~30L/min的氮氣或者氧氣冷卻石英舟。

采用上述清洗和飽和處理方法,具有以下顯著有益效果:經過氫氟酸清洗的石英舟上的硅粉沉淀物松動,再放入噴淋槽用純水噴淋,使得松動的硅粉沉淀物完全清除,再通過飽和工序中通過大流量的三氯氧磷液態源和氧氣,使得存在“死角”部位的石英舟卡槽充分吸收磷原子,石英舟在進行初次運載硅片進行擴散時,硅片上將不會產生卡槽印,從而保證石英舟的品質。

好了,通過我們的介紹,相信大家對石英舟的清洗和飽和處理方法都有所了解,東??h國宏石英制品有限公司是多年生產石英舟的廠家,質量可靠,需要咨詢的可以聯系我們哦。

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